中試代工 位置:首頁 > 中試代工   
 

平臺公司2016年通過中國合格評定國家認可委員會認證,并經教育部成果鑒定,具有國際先進水平。研究院成立了以丁衡高、尤政院士為首的專家委員會,聘請楊振川、周斌等20余位MEMS領域知名專家組成“項目專家組”,為平臺MEMS器件創新設計、項目研發、中試代工等提供技術指導,現已累計開發完成MEMS單項工藝百余項、產品工藝30余套,硅微機械陀螺、加速度計、繼電器等20余個產品實現通線量產,成為國內技術團隊、研發水平均處領先地位的中試代工平臺。目前主要以6英寸體硅工藝為主,可實現多種工藝的加工服務:


光刻:接近式光刻(可雙面),最小線寬1um
● 薄膜制備:氧化、擴散、LPCVD、TEOS、PECVD、摻雜注入
金屬制備:E-beam、磁控濺射、電鍍
濕法腐蝕:KOH、BOE/HF、TMAH、金屬腐蝕
● 干法刻蝕:ICP、RIE、DRIE(SPTS Rapier深寬高于35:1)、氣相XeF2、O2 Plasma
● 鍵合:硅-硅、硅-玻璃、玻璃-硅-玻璃、金屬共晶等多種鍵合
封裝測試:劃片、引線鍵合、半導體分析、應力分析


聯系人:王經理
聯系電話:15254455701
郵箱:[email protected]


中試代工客戶聯絡單


公司介紹 工藝能力 中試代工 企業智庫
公司概況 光刻鍵合工藝    
企業文化 刻蝕工藝  
資質榮譽 薄膜沉積和擴散工藝
  封裝測試工藝
  測量分析
山東博華電子科技發展有限公司
電話:0533-5203583
郵箱:[email protected]
地址:山東省淄博市高新區中潤大道158號

版權所有:山東博華電子科技發展有限公司 Copyright © www.nsatai.live Corporation, All Rights Reserved 備案號: 魯ICP備15001877號
技術支持:ZBYITAI.com  億泰信息  淄博網站建設  淄博網絡推廣
八方女神闯关